入口光斑

10mm

12mm

14mm

出射光中心至机壳下表面距离

34.65mm

34.65mm

34.65mm

光柱位移

6.67mm

6.67mm

6.67mm

调教

P1

P1

P2

P1

高精度标记速度(f=160mm)

6000mm/s

5000mm/s

10000mm/s

2500mm/s

定位速度(f=160mm)

25000mm/s

20000mm/s

20000mm/s

20000mm/s

高精度运行角速度

37.5 rad/s

31.25 rad/s

62.5rad/s

15.63 rad/s

阶跃响应时间（全行程 1%）

260μs

280μs

400us

340μs

阶跃响应时间（全行程 10%）

810μs

1180μs

1686μs

1430μs

跟踪误差

≤115μs

≤138μs

≤140μs

≤167μs

重复精度

＜1μRad

＜1μRad

＜1μRad

线性度

99.90%

99.90%

99.90%

长时间漂移（连续工作 8 小时）

＜0.1mRad

＜0.1mRad

＜0.1mRad

增益漂移

＜8PPM/℃

＜8PPM/℃

＜8PPM/℃

零点漂移

＜15μRad/℃

＜15μRad/℃

＜15μRad/℃

激光器配套

镜片反射波长

355nm、532nm、1064nm、10.6um等

电源及信号

输入电压

±15VDC

额定电流

3A

接口协议

XY2 -100、SH2-100、SPI

机械扫描角度

±22°

温度、尺寸

工作温度

10℃ ~45℃

存储温度

-10℃ ~60℃

激光输入孔径

14mm

振镜尺寸（长×宽×高）

120×137×136mm

振镜重量

约 4kg